针对浙江杭州半导体光学洁净车间设计优化解析

访客 新能源 2.1K+

半导体光学洁净车间主要用于半导体产品的生产,包括半导体光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装等工艺流程。随着如今科技的飞速发展,半导体行业对生产环境的要求也越来越高。为了满足这一需求,建设具有高度洁净度的半导体光学洁净车间至关重要。今天我们就以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递的项目为例,着重探讨一下半导体光学洁净车间设计要点并优化解析。

针对浙江杭州半导体光学洁净车间设计优化解析

半导体光学洁净厂房的设计理念应注重实用性和功能性。在满足生产工艺要求的前提下,要充分考虑车间的生产效率、能源消耗、人员健康等因素。同时,要保证车间的结构布局合理,便于维护和清洁,以降低运行成本。因此,半导体光学洁净厂房的装修要求包括:采用FFU盲板或防火彩钢板作为吊顶材料,吊顶必须无障碍,还应考虑承载力的技术问题。厂房墙面装修材料为50mm厚的防火彩钢板,使空间空得到更有效的利用。安装彩钢板时,需要进行接地处理,以释放静电。对于车间的地面装修,通常采用环氧自流平或PVC卷材,但在半导体光学洁净车间,这两种材料需要防静电。

解决了普通装修容易产生灰尘的问题后,最重要的是温度、湿度、压力、通风风量、洁净度等的设计方案。以下是CEIDI西迪半导体光学洁净车间的循环参数:

1.光学洁净车间可以根据环境控制的要求规划多个环境区域。10万级净化车间,每小时换气次数不得少于15次;万级无尘车间要求每小时换气次数不少于20次;千级洁净室的换气次数不应少于每小时50次。而100级超净室和10级超净棚并不以换气次数为标准。它们以全天送花的形式送风,以全地回风的形式回风。通过调节送风和回风出口所占面积的比例,可以计算出净化联合空调节机组的送风量。送风速度一般控制在0.3-0.5m/s之间。

2.洁净车间的温度和湿度范围应根据季节和产品特性进行控制。冬季温度高于16摄氏度,夏季低于26摄氏度,波动幅度为正负2摄氏度。湿度需要在45-65%之间,具体数值根据产品特性确定,正常波动范围在正负5%以内。同时,湿度对洁净车间的静电有特殊的影响,所以洁净车间的湿度需要综合考虑这些因素。

3.噪声控制主要以工作人员的舒适度为主,按照国家噪声标准进行控制。车间的噪音要控制在65分贝以下。

4.为了解决室内人员的舒适性问题,根据暖通空调标准,洁净车间需要适当补充新风。新风量按人员数量计算,每人每小时新风量按50立方米计算。

CEIDI希迪作为拥有十余年经验的老牌EPC项目(总承包)集成服务商,经验丰富,专业知识深厚,可提供半导体光学洁净厂房项目的装修设计、施工、采购、运维等一站式施工服务。

标签: 车间

抱歉,评论功能暂时关闭!